下面我们来了解下VMS3020影像仪的误差来源。

　　在VMS3020影像仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量，测量时先对焦，后对准，再读数(计数)，后计算处理。读数来自于标尺即光栅系统，对焦对准依靠显微镜光学系统，还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源，因为，基于影像方法测量的仪器，如果被测件不能被有效正确的照明，则测量的结果显然要偏离其真实尺寸。

　　除上述因素外，环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素。基于上述分析，可以归纳出VMS3020影像仪误差来源于以下几个方面：

　　1、光栅计数尺的误差；

　　2、工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差；

　　3、工作台两测量轴垂直度带了的误差；

　　4、显微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差；

　　5、测量室温度带来的误差；

　　6、光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差。

　　在这几种因素中，前四项误差，是硬件误差，在仪器制造过程中已经形成并固定下来。一般无法改变；温度影响带来的误差，通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响。后一项则常被忽视，而在实际测量中，当光源照明条件改变时，直接影响被测工件的照明效果和影像质量，主要是因为VMS3020影像仪的图像是通过CCD接收，尽管CCD具有自动调节增益的功能，但当亮度过大时即失去调节功能，导致被测工件影像在缩小，当亮度过低时，工件影像反而变大。